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【研究概要】

アイクリスタル株式会社（代表取締役：髙? 将輝／取締役 技術統括：関 翔太）、グローバルウェーハズ?ジャパン株式会社（研究代表者、参事：永井 勇太）、国??学法?東海国??学機構 名古屋?学 未来材料?システム研究所（教授：宇治原 徹／准教授：沓掛健太朗）、ならびにソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社（主幹技師：?川 公?／永倉 ?樹）の研究グループは、仮想空間上に構築したデジタルツインを接続して?速に最適化するプロセス全体最適化プラットフォーム「メタファクトリー」を?いて Si ウェーハ製造から CMOS イメージセンサー（CIS）製造まで合計 30 ?程を?気通貫で最適化し、実ラインでの試作にて従来品? 約 70％のノイズ特性改善に成功しました。

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【研究代表者】